ISO 14644 根據懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室（區(qū)）及相關受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級
根據粒子徑，可以劃分為常規(guī)粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
空氣潔凈度分級標準： ISO14644-1 （國際標準）
空氣潔凈度等級（N）
大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值（個/每立方米空氣粒子）
0.1 um
0.2 um
0.3 um
0.5um
1um
5 um
ISO Class 1
10
2
ISO Class 2
100
24
10
4
ISO Class 3
1 000
237
102
35
8
ISO Class 4
10 000
2 370
1 020
352
83
ISO Class 5
100 000
23 700
10 200
3 520
832
29
ISO Class 6
1 000 000
237 000
102 000
35 200
8 320
293
ISO Class 7
352 000
83 200
2 930
ISO Class 8
3 520 000
832 000
29 300
ISO Class 9
35 200 000
8 320 000
293 000
注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不超過三個有效的濃度數(shù)字來確定等級水平。
空氣潔凈度分級標準： GB/T16292-1996 （中國標準）
粒徑
塵埃最大允許數(shù)/立方米
微生物最大允許數(shù)
≥0.5um
≥5um
浮游菌/立方米
沉降菌/皿
100 級
3,500
0
5
1
10,000 級
350,000
2,000
100
3
100,000 級
3,500,000
20,000
500
10
300,000 級
10,500,000
60,000
—
15
美國聯(lián)邦標準 209D 潔凈室分級：（已停用）
空氣潔凈度等級（N）
大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值（個/每立方米空氣粒子）
0.1 um
0.2 um
0.3 um
0.5um
5 um
1
35
7.5
3
1
10
350
75
30
10
100
750
300
100
1000
1000
7
10000
10000
70
100000
10000
700
英國 5295 標準潔凈室和空氣凈化裝置分級：
空氣潔凈度等級（N）
大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值（個/每立方米空氣粒子）
0.3um
0.5um
5um
10um
25 um
C
100
35
0
D
1000
350
0
E
10000
3500
0
F
3500
0
G
100000
35000
200
0
H
35000
200
0
J
350000
2000
450
0
K
3500000
20000
4500
500
L
200000
45000
5000
M
450000
50000
各種國際標準的比較：
，并且僅考慮粒徑限值（低限）在0.1um～5.0um 范圍內呈累積分布的粒子群。
、數(shù)值潔凈度級別
