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凈化車間潔凈室的分類和構(gòu)成

文章來源作者：時(shí)間：2019-12-10 16:05

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潔凈室

，亦稱為無塵室或清凈室

，也叫潔凈車間

，無塵室。是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子

、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除

，并將室內(nèi)之溫度

、潔凈度

、室內(nèi)壓力

、氣流速度與氣流分布

、噪音振動(dòng)及照明

、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)

，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間

。即是不論外在之空氣條件如何變化

，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性

。

潔凈室的分類
1.亂流式：即空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)

。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)

。其優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單

、系統(tǒng)建造成本

，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所

，可并用無塵工作臺(tái)

，提高潔凈室等級(jí)

。缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出

，易污染制程產(chǎn)品

。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活

，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間

。

凈化車間潔凈室的分類和構(gòu)成

2.層流式：層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)

，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)

，此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用

，一般其潔凈室等級(jí)為Class1-100

。其型式可分為二種：

(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出

，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)

，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重

。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單

，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高

，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋

，空氣由上往下吹

，可得較高之潔凈度

，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?div id="jfovm50" class="index-wrap">？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點(diǎn)：管理容易

，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響

。缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高

，彈性運(yùn)用空間困難

，天花板之吊架相當(dāng)占空間

，維修更換過濾器較麻煩。

3.復(fù)合式：復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用

，可提供局部超潔凈之空氣。

(1)潔凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上

，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用

。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離

，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)

，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：彈性擴(kuò)充容易

；維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

(2)潔凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理

，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上

。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離

，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度

，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用

。藥品

、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

(3)并裝局部潔凈室：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上

，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)

、潔凈工作棚

、潔凈風(fēng)柜即屬此類

。另外還有潔凈工作臺(tái)和潔凈工作棚等

。

潔凈室的構(gòu)成
潔凈室的一般構(gòu)成包括：

(1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿、綱梁

、天花板格子梁。

(2)空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙

、過濾器系統(tǒng)

、風(fēng)車等

。

(3)隔墻板：包括窗戶

、門。

(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。

(5)照明器具：包括日光燈

、黃色燈管等

。

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