、紫外線除TOC(185UV)和紫外線殺菌(254UV)等。

 

三

、精處理階段

精處理的任務(wù)是最后達(dá)到預(yù)定的水質(zhì)并在輸送過程中保持穩(wěn)定,因此它是一個(gè)不間斷的循環(huán)系統(tǒng),即系統(tǒng)通過的水量應(yīng)為最終使用量的1.3~2倍,未使用的純水返回精處理系統(tǒng)的水箱再循環(huán)

。這個(gè)階段主要采用的手段有精混合床(非再生式)、紫外線殺菌、MF、UF、RO等。

 

四

、純水制備、輸送流程

超純水系統(tǒng)流程應(yīng)根據(jù)用水水質(zhì)要求

、原水水質(zhì)及運(yùn)行管理、經(jīng)濟(jì)性等因素確定。除了合理確定純水制取的流程外,純水(特別是超純水)的輸送設(shè)計(jì)也是極其重要的。這里主要是出水輸水配管的設(shè)計(jì)及管道材料的選擇。

 

隨著生產(chǎn)工藝對(duì)純水水質(zhì)的不斷提高,甚至到了理論純水的程度、尤其是集成電路的發(fā)展不但對(duì)水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格,而且對(duì)細(xì)菌

、微粒、有機(jī)物及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求。除了嚴(yán)格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計(jì)是保證使用水質(zhì)的關(guān)鍵。

實(shí)踐證明,采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少盲管段的死水區(qū)

，以減少純水在管道內(nèi)的停留時(shí)間,減小管道微量溶出物(即使用前質(zhì)量最好的管道也會(huì)有微量物質(zhì)溶出)對(duì)超純水水質(zhì)的影響,同時(shí),基于流水不腐的道理,高的流速也可以防止細(xì)菌微生物的滋生。

 

對(duì)水質(zhì)要求較高的純水管道應(yīng)采用循環(huán)供水方式,并符合下列要求

。

1、循環(huán)水量宜為使用量的30%~100%

。

2

、干管流速宜為1.5~3m/s。

3

、不循環(huán)的支管長(zhǎng)度應(yīng)盡量短,其長(zhǎng)度不宜大于6倍管徑

4

、供水干管上應(yīng)設(shè)有清洗接口。

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