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凈化車(chē)間中的設(shè)備怎么防止污染

文章來(lái)源凈化車(chē)間施工公司作者：四川華盛興邦凈化工程有限公司時(shí)間：2020-04-15 17:36

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對(duì)于凈化車(chē)間來(lái)說(shuō)，防止儀器設(shè)備被污染是重要的管理內(nèi)容

，當(dāng)設(shè)備被污染后，這些被污染的設(shè)備會(huì)讓產(chǎn)品也被污染

，所以我們必須防止凈化車(chē)間內(nèi)的設(shè)備被污染

，下面華盛興邦就談下凈化車(chē)間中的設(shè)備怎么防止污染

。

一、生產(chǎn)工藝設(shè)備的防污染管理

在凈化車(chē)間內(nèi)產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中

，生產(chǎn)設(shè)備的塵粒污染是不可忽視的。據(jù)資料介紹

，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)過(guò)程中生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)塵量要占總微粒污染量的30％左右

，可見(jiàn)其影響之大。污染的類(lèi)型除了影響制作微細(xì)圖形的微塵污染外

，還有可使器件特性惡化的鈉、鉀等堿金屬和銅

、鐵等重金屬的分子或分子級(jí)污染

。所謂生產(chǎn)設(shè)備的污染

，雖然有的是生產(chǎn)工藝固有的污染

，但是還有源于設(shè)備制作材料、生產(chǎn)過(guò)程中的原輔材料（包括反應(yīng)氣體

、輸送氣體

、吹掃氣體和清洗用純水等）

、工器具使用不當(dāng)和機(jī)械運(yùn)動(dòng)及其潤(rùn)滑劑等的各類(lèi)污染

，還有在產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中由于操作失誤造成的不應(yīng)有污染。各種凈化車(chē)間內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)的實(shí)踐表明

，加強(qiáng)凈化車(chē)間內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中生產(chǎn)工藝和設(shè)備的管理，的確是降低室內(nèi)污染程度

，提高產(chǎn)品質(zhì)量的重要措施

。要十分認(rèn)真細(xì)致地觀察凈化車(chē)間內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中可能發(fā)塵的情況，特別是運(yùn)輸裝置

、運(yùn)動(dòng)部件、機(jī)械手等可能的污染源

，還有各類(lèi)泵

、風(fēng)機(jī)等的電動(dòng)機(jī)內(nèi)部軸承之間的摩擦，并針對(duì)這些污染源的情況制訂相應(yīng)的管理措施和必要的對(duì)策

。

二、生產(chǎn)工藝設(shè)備和工器具的防污染管理措施

以大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用凈化車(chē)間為例:生產(chǎn)工藝設(shè)備和工器具的防污染管理措施中較徹底的方法是實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程自動(dòng)化

，不再采用手工操作方式運(yùn)送硅片，不再用鑷子進(jìn)行硅片的裝送

，以杜絕設(shè)備、工器具和人身帶來(lái)的污染

。同時(shí)

，隨著硅圓片直徑的不斷增大

，人工操作已不能適應(yīng)工藝生產(chǎn)要求

，所以全面實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作已不僅是改善生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈度的需要，而且與改善企業(yè)的經(jīng)濟(jì)利益密切相關(guān)了

。

又例如某硅片自動(dòng)化輸送系統(tǒng)

，由一種或數(shù)種生產(chǎn)工藝設(shè)備組成微環(huán)境加工區(qū)，將這些加工區(qū)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求進(jìn)行組合形成產(chǎn)品生產(chǎn)流水線

，在兩個(gè)加工的交接點(diǎn)上設(shè)置儲(chǔ)料器

，用它來(lái)緩沖由于生產(chǎn)工藝設(shè)備生產(chǎn)速度不同

、單片處理和分批處理的不同以及其他原因造成的物流不平衡。設(shè)置儲(chǔ)料器后

，加工區(qū)之間的輸送就成為儲(chǔ)料器之間的輸送

，加工區(qū)內(nèi)的輸送則為儲(chǔ)料器與生產(chǎn)工藝設(shè)備之間、生產(chǎn)工藝設(shè)備與生產(chǎn)工藝設(shè)備之間的傳送。潔凈廠房設(shè)計(jì)時(shí)

，應(yīng)根據(jù)建筑平面與空間

、人員通行與操作、生產(chǎn)設(shè)備的移動(dòng)與維護(hù)以及公用動(dòng)力設(shè)施和管線等的實(shí)際情況進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)

，選擇不同的方式

、不同的布置

。

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