，獲得的空氣質量可以不如微環(huán)境那樣好，參見圖所示

。

 

凈化車間的微環(huán)境也是一種隔離裝置

，是隔離技術在工程中的具體應用。

圖5-34是不帶微環(huán)境的常規(guī)潔凈室設計圖。在潔凈室中

，在工作人員將硅晶片從一個設備移到另一個設備的地方，系統(tǒng)提供了大量的單向流空氣，以保證最好的空氣條件（即圖5-34中的白色部分

，ISO3級水平）

。用隔板與設備隔開的服務區(qū)

，則提供質量較低的空氣（即圖5—34的陰影部分，ISO6級水平）

。

圖5-35是使用了微環(huán)境的設計圖

。由微環(huán)境提供最高質量的環(huán)境條件（圖中白色部分，要求為ISO3級）

，而在生產區(qū)和服務區(qū)均只提供了質量較低的空氣（圖中陰影部分

，要求為ISO6級或更差些）?div id="jfovm50" class="index-wrap">？梢钥闯?div id="jfovm50" class="index-wrap">，這種使用了微環(huán)境的設計可以大大降低整個系統(tǒng)的送風量，既保證了工藝區(qū)域要求的空氣潔凈度

，又降低了能量消耗

。在整個半導體設施的SMIF執(zhí)行區(qū)域，從潔凈空間體積的縮小和能量節(jié)省來看可能是最為要緊的

。

上一篇：凈化車間的隔離裝置與微環(huán)境是什么 下一篇：食品廠凈化車間施工方案