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介紹兩種電子廠凈化車間過濾器

文章來源凈化車間設(shè)計作者：四川華盛興邦凈化工程有限公司時間：2020-04-01 16:48

在微電子工業(yè)中使用了兩類氣溶膠過濾器:纖維過濾器和膜片過濾器

。

1.纖維過濾器

纖維過濾器是一個直徑不同

、長度不等

、雜亂朝向的纖維集合體

，纖維被填充

、壓實

，或者結(jié)合成一種織物層（有時借助于纖維黏結(jié)劑）

，放在被過濾的空氣要通過的一個固定的空間內(nèi)

。纖維過濾器的效率可以比較低

，也可以用長網(wǎng)造紙機工藝制造高效纖維濾紙過濾器

。在高效纖維濾紙過濾器中，所用的填料包括用于高效捕集亞微米粒子

、直徑為亞微米級的超細(xì)玻璃纖維

，以及提高強度用的較大直徑的纖維（大至5μm）

。纖維過濾器的孔率為85％～99％。

? 電子廠凈化車間

2.膜片過濾器

膜片過濾器是勻質(zhì)的固體薄片

，用輻照

、蝕刻、雙軸延伸或溶劑揮發(fā)等各種方法對膜片進(jìn)行穿洞或穿細(xì)孔而制成

。溶劑揮發(fā)工藝是最通用的方法

。將含有揮發(fā)性溶劑的適當(dāng)塑料溶液澆注到一些薄片上，然后做固化處理

，在固化中

，各種組分以不同的速率揮發(fā)，最后留下一張多孔而連續(xù)的膜片

。這種溶劑澆注膜片過濾器的典型孔率為70％～85％

。

膜片過濾器的材質(zhì)為各類纖維素酯，厚度在數(shù)十微米左右

，表面帶有靜電

，均勻地分布著孔徑為0.1～10μm的圓孔，開孔率高達(dá)70％～85％，平均每平方厘米有107～108個小孔

。比孔徑大的微粒

，100％被截留于濾膜表面。微電子工業(yè)中多用于光譜純的用水用氣點

。

特別要提到的一種膜片過濾器是通過聚四氟乙烯（PTFE）的雙向拉伸制成的。該過濾器的主要優(yōu)點是其化學(xué)穩(wěn)定性

，在結(jié)構(gòu)上也呈現(xiàn)出更好的膜片過濾器與纖維過濾器之間的相似性

。在雙向拉伸作用下，PTFE膜片既保持了單一的固態(tài)的完整性

，又被撕裂為一張精細(xì)的亞微米的微絲網(wǎng)絡(luò)

，這更像纖維過濾器的結(jié)構(gòu)而不像膜片過濾器的結(jié)構(gòu)。PTFE濾紙與傳統(tǒng)的高效玻璃纖維濾紙相比直徑更小

，結(jié)構(gòu)更加均勻

。用PTFE制作的空氣過濾器其效率等級為H13時，初阻力在50Pa左右

。