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GMP凈化車間的金屬管道怎么連接

文章來源凈化車間設(shè)計作者：四川華盛興邦凈化工程有限公司時間：2020-03-30 17:01

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對于GMP凈化車間來說

，由于該區(qū)域的特殊性

，對管道的鏈接提出了較高的要去

，下面華盛興邦就談下GMP凈化車間的金屬管道怎么連接

。

（1）管道材質(zhì)。用于輸送高純氣體的金屬管道的材質(zhì)主要有:

1）低碳不銹鋼

。大流量高純、高潔凈度氣體原則上全部采用低碳不銹鋼管

。

2）銅管

。在半導(dǎo)體企業(yè)中，個別生產(chǎn)工藝如砷化鎵的操作

，為了防止產(chǎn)生器件電阻，不允許使用銅質(zhì)管路及其附件

，只能使用不銹鋼材料

。

（2）連接方式

1）焊接。高純

、高潔凈度氣體管道

，原則上采用焊接

，但不能直接對焊

，應(yīng)采用套管接頭，如圖1所示

。

GMP凈化車間

①不銹鋼管的焊接:采用氬弧焊

，同時管內(nèi)通入同等純度的氬氣，防止焊接部位氧化

。

②銅管的焊接:采用40％的銀焊條

，氮氣保護焊，管內(nèi)通入與工藝氣體同等純度的氮氣

。但要注意

，一旦氮氣中斷或氮氣純度下降，會在焊口附近生成銅的氧化物

，產(chǎn)生浸潤表面的可能性

。所以，當(dāng)銅管焊接完畢后要用浸漬丙酮的紗布來回擦拭管內(nèi)

，消除焊接處可能產(chǎn)生的氧化物。

2）螺紋連接

。螺紋連接的氣密性不如焊接的好

，不適用于高純、高潔凈度氣體管路連接

。螺紋連接使用的密封填料殘渣有帶入氣體的危險

，而且內(nèi)外螺紋旋緊時

，金屬間的摩擦?xí)a(chǎn)生金屬粉塵粒子

，污染氣體。如確實必要

，應(yīng)在銅與銅

、銅與銅合金附件螺紋連接時，在外螺紋上均勻地掛上一定量的焊錫

，提高密封效果，盡可能減少金屬粉塵

。

3）法蘭連接

。螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)采用聚四氟乙烯，為確保密封效果

，在墊片上涂敷少量氟橡膠（白色、室溫固化）

。

（3）管路附件的使用

1）管路附件的材質(zhì)的選用原則應(yīng)與管材的選用原則一致

。

2）在采用銅材的管路系統(tǒng)中，可以使用不銹鋼材質(zhì)的管道附件

；但在不銹鋼材質(zhì)的

管路系統(tǒng)中

，不容許使用銅質(zhì)材料的管道附件。

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