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潔凈廠房高純氣體管道設計的要求

文章來源四川華盛興邦凈化工程有限公司作者：成都凈化工程公司時間：2020-03-30 16:32

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潔凈廠房中的氣體管道是指氣體壓力小于等于0.8MPa的氫氣

、氧氣、氮氣

、壓縮空氣、燃氣等一般氣體和高純氣體管道及真空管道

，其具體的安裝要求可參考《潔凈室施工及驗收規(guī)范》（JGJ71-1990）的有關規(guī)定

。

高純氣體是指氣體純度大于等于99.9995％

，含水量小于5×10-4％的氣體

。

潔凈廠房廣泛用于電子、生物醫(yī)藥

、精細化工、精密機械

、食品

、化妝品等產品的生產中，不同產品的生產過程中

，對所用高純度氣體的品種

、純度，以及氣體中允許的雜質濃度或氣體的品質要求差異很大

。例如半導體工業(yè)，所用氣體品種多

，要求特別嚴格

。這里對半導體工業(yè)的高純氣體及其氣體管道做一簡單介紹。

一

、半導體集成電路制造用的高純氣體品種

1.按集成電路制造使用分類

（1）普通氣體（又稱大宗氣體）。有H2

，N2，O2

，Ar

，He等。

（2）特種氣體（摻雜

、外延、離子注入

、刻蝕等）

，如Si

，Sio

，Cr，Al

，Mo，W等

2.按使用時的危險性分類

（1）可燃

、自燃、易燃氣體

。如H2

，CH4，H2S

，NH3等

。

（2）有毒氣體。半導體工業(yè)所用氣體大多數有毒對人體有害

，如PH3，ASH3

，B2H6等

。

（3）助燃氣體

。此類氣體自身不燃

，但與可燃物可燃氣體接觸時有助燃的作用，如O2

，N2O，F2

，HF等

。

（4）窒息性氣體。此類氣體性質穩(wěn)定

，不燃，無毒但當空氣中氧含量降低到18％時

，使人因缺氧而覺呼吸困難，如N2

，Ar

，CO2

，He等

。

（5）腐蝕性氣體。此類氣體遇水即呈腐蝕性

，但在干燥狀態(tài)時不易腐蝕金屬

，如HCl

，PCl3

，POCl3，HF等

。

潔凈廠房

二、高純氣體的“三度”

所謂的高純氣體“三度”

，包括純度

、干燥度和潔凈度

。

1.氣體純度

氣體純度表示氣體中雜質氣體的含量

，通常用百分數表示

，如99.9999％，也用雜質氣體的體積比表示

。

2.干燥度

干燥度表示氣體中微量水分的含量

，或稱為含濕量，通常用露點表示

，如常壓露點一

70℃。

3.潔凈度

潔凈度表示氣體中含有污染物粒子的數量

，粒徑以μm為單位

，數量為pc/m3對壓縮空氣也用不可避免的固體殘留物的多少表示，單位為mg/m3

，其中包括了含油量。

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