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淺談電子廠凈化車間潔凈度設(shè)計(jì)

文章來源成都電子廠設(shè)計(jì)裝修作者：四川華盛興邦凈化工程有限公司時(shí)間：2020-03-23 17:39

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由于生產(chǎn)工藝的不同，對(duì)空調(diào)通風(fēng)參數(shù)和潔凈度等級(jí)的要求也不同

，因此

，電子廠設(shè)計(jì)人員首先應(yīng)該了解各生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)。下面華盛興邦就談下電子廠凈化車間潔凈度設(shè)計(jì)

。

電子廠生產(chǎn)工藝分類眾多

，有集成電路生產(chǎn)（分為光掩膜、前道工序

、后道工序）

，平面顯示器生產(chǎn)（分為L(zhǎng)CD，PDP

，TFT

，VFD，顯像管）

，硅材料生產(chǎn)（單晶硅

、多晶硅），光纖生產(chǎn)

，制卡業(yè)

，表面貼裝（SMT），分離器件生產(chǎn)（功率一

、二

、三級(jí)管

，電容，電阻）

，整機(jī)組裝生產(chǎn)（機(jī)頂盒

、數(shù)字投影儀、電子數(shù)碼相機(jī)）

，自控元器件生產(chǎn)（傳感器

、執(zhí)行機(jī)構(gòu)）等。

由于生產(chǎn)工藝種類繁多

，對(duì)潔凈度等級(jí)要求也不同

，高的很高，低的很低

；對(duì)粒子粒徑控制的要求也不同

，范圍約為0.1～5μm；對(duì)溫濕度控制的要求相對(duì)較高

，如集成電路前道工序一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)為22℃（精度±0.1～±1℃）

，相對(duì)濕度基數(shù)為40％（精度±2％±5％）；正壓值要求的梯度級(jí)別

，隨著潔凈度的變化而從高到低變化

，差值為5～10Pa。

電子廠設(shè)計(jì)

由于我國(guó)電子行業(yè)與國(guó)際先進(jìn)水平差距較大

，隨著經(jīng)濟(jì)發(fā)展不斷加快

，先進(jìn)技術(shù)不斷進(jìn)入我國(guó)。因此

，生產(chǎn)工藝技術(shù)的更新

，可謂日新月異，潔凈工程設(shè)計(jì)必須要適應(yīng)這么快的變化節(jié)奏

。

電子廠凈化車間設(shè)計(jì)的冷負(fù)荷比其他行業(yè)的凈化車間大很多

，單位冷負(fù)荷達(dá)400～500W/m2很常見。由于冷負(fù)荷大

，一般情況下

，冬季也需要供冷

，這是電子行業(yè)的特點(diǎn)

。

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類繁多，且量也大

，所以需要的排風(fēng)量和新風(fēng)量也大

。新排風(fēng)的節(jié)能措施也是行業(yè)特點(diǎn)之一，排放前要做處理

，使排風(fēng)符合環(huán)保要求

。

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝有抗靜電

、抗微振的要求，并且大宗氣體和特種氣體種類多

，對(duì)純度和潔凈度要求高

。

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